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半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器不僅能夠提供高純度、穩(wěn)定壓力的氫氣，還具有多項(xiàng)結(jié)構(gòu)優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用功能，是半導(dǎo)體制造過(guò)程中重要的設(shè)備。

金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器是一種能夠連續(xù)可靠地產(chǎn)生高純度氫氣的設(shè)備，其純度可達(dá)到99.9999%以上。相比昂貴且危險(xiǎn)的高壓氫氣鋼瓶。

HYDROGEN-2L/3L氫氣發(fā)生器只需提供去離子水和供電即可產(chǎn)生氫氣，設(shè)備是一種能夠連續(xù)可靠地產(chǎn)生高純度氫氣的設(shè)備，其純度可達(dá)到99.9999%以上。

HYDROGEN/5L/10L/17L氫氣發(fā)生器是由超純水機(jī)制取二級(jí)水，并儲(chǔ)存至水箱備用的設(shè)備。當(dāng)氫氣發(fā)生器缺水時(shí)，它會(huì)自動(dòng)供給水。此外，多臺(tái)氫氣發(fā)生器還可以串聯(lián)使用，通過(guò)串聯(lián)控制線由一臺(tái)發(fā)生器控制其他發(fā)生器，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)氣均勻分配。

CVD,MOCVD專用氫氣發(fā)生器操作方便使用時(shí)只需打開(kāi)電源開(kāi)關(guān)即可產(chǎn)氫，使用后無(wú)需泄壓，直接關(guān)閉電源即可。可連續(xù)使用，也可間斷使用，產(chǎn)氫量穩(wěn)定不衰減。

功能方面，高壓氫氣發(fā)生器具有自動(dòng)水位控制功能，當(dāng)缺水狀態(tài)時(shí)，自動(dòng)停機(jī)，自動(dòng)補(bǔ)水功能，水量低于15%時(shí)，由外置水箱自動(dòng)補(bǔ)水，無(wú)需停機(jī)加水。有效保護(hù)電解池，延長(zhǎng)使用壽命。